直流和射频发电机

SEMI.ETG.5003.201x

EtherCAT技术集团已与行业领导者合作，为半导体直流和射频发电机创建了一个特定的设备行规，名为ETG.5003.2010和ETG.5003.2011。在半导体晶圆制造、太阳能电池制造、平板显示器生产等高科技制造业等高科技制造中，关键工序的高精度过程控制和电弧管理需要直流和射频发电机。精密的直流和射频电源是保证薄膜质量和均匀性的必要条件。直流发电机将交流电源转换成精确调节的直流电源，根据设备的不同，输出功率从低到高。射频功率发生器将交流功率转换为经过大功率和频率范围的调节射频输出功率。两个发电机都采用传感器反馈，以确保清洁等离子体应用控制的精确功率。

什么是半导体直流和射频发电机的具体设备行规ETG.5003.2010 和ETG.5003.2011？

ETG.5003.2010是直流发电机的具体设备行规，ETG.5003.2011为射频发电机的SDP。这两种SDP都描述了每个设备的网络可见组件，并且在对象索引、状态和控制位等方面都是极其相似的行规。这些SDP足够灵活，可用于大多数频率范围和功率范围内的发电机。它包括从低功率(1千瓦)到高功率(96千瓦或以上)的设备。2010年的直流电行规适用于直流发电机，2011年的射频行规涵盖了低频、中频和高频设备。

如何实现此SDP并构建具有此一致性的设备？

您需要首先找到一个EtherCAT从控制器和EtherCAT从软件堆栈来实现一般的EtherCAT通信。然后您可以开始构建CDP和SDP。此SDP的实现必须与CDP一起完成，因为大部分SDP都基于CDP规范。大多数SDP都与软件需求有关，特别是设备对象字典和PDO映射。实现此SDP需要详细了解SDP规范和设备应用程序。