质量流量控制器

SEMI.ETG.5003.2020

ETG.5003.2010是直流发电机的具体设备行规，ETG.5003.2011为射频发电机的SDP。这两种SDP都描述了每个设备的网络可见组件，并且在对象索引、状态和控制位等方面都是极其相似的行规。这些SDP足够灵活，可用于大多数频率范围和功率范围内的发电机。它包括从低功率(1千瓦)到高功率(96千瓦或以上)的设备。2010年的直流电行规适用于直流发电机，2011年的射频行规涵盖了低频、中频和高频设备。

什么是质量流量控制器的具体设备行规ETG.5003.2020？

ETG.5003.2020描述了半导体质量流量控制器设备的网络可见组件。ETG.5003.2020 SDP有一些必须考虑的额外硬件需求。这些硬件规范中有许多是关于电源连接和电源led的，但是在这个SDP中，除了CDP之外，还有一些其他的硬件要求。该SDP还将过程数据映射分解为MFC增强(2020)、MFC标准(2021)、MFM标准(2022)和MFM增强(2023)。

如何实现此SDP并构建具有此一致性的设备？

您需要首先找到一个EtherCAT从控制器和EtherCAT从软件堆栈来实现一般的EtherCAT通信。然后您可以开始构建CDP和SDP。此SDP的实现必须与CDP一起完成，因为大部分SDP都基于CDP规范。大多数SDP都与软件需求有关，特别是设备对象字典和PDO映射。实现此SDP需要详细了解SDP规范和设备应用程序。