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消减和次洁系统

SEMI.ETG.5003.2000 

EtherCAT技术集团已与业界领袖合作,为半导体消减和次洁系统创建一个特定的设备行规,名为ETG.5003.2000。这些系统主要处理半导体制造过程中的废气。消减装置通常由多个输入口组成,传输到一个共同的处理系统中。

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什么是消减和次洁系统的具体设备行规ETG.5003.2000?

ETG.5003.2000是用于消减和次洁系统的特定设备行规,描述了消减和次洁系统的半导体设备的网络可见组件。这些系统主要处理半导体制造过程中的废气。消减装置通常由多个输入口组成,传输到一个共同的处理系统中。次洁系统接口允许添加额外的半导体设备,如粗化泵(ETG.5003.2050)或涡轮泵(ETG.5003.2070)。

如何实现此SDP并构建具有此一致性的设备?

您需要首先找到一个EtherCAT从控制器和EtherCAT从软件堆栈来实现一般的EtherCAT通信。然后您可以开始构建CDP和SDP。此SDP的实现必须与CDP一起完成,因为大部分SDP都基于CDP规范。大多数SDP都与软件需求有关,特别是设备对象字典和PDO映射。实现此SDP需要详细了解SDP规范和设备应用程序。

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EtherCAT半导体一致性的HMS解决方案:

在此过程的每个步骤中HMS提供硬件、软件和开发服务。HMS在工业通信方面的经验和专业知识可以用来开发部分或全部SDP和CDP。请参阅下图,以审阅HMS如何协助完成ETG.5003的整个发展过程:

 

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