消减和次洁系统

SEMI.ETG.5003.2000

EtherCAT技术集团已与业界领袖合作，为半导体消减和次洁系统创建一个特定的设备行规，名为ETG.5003.2000。这些系统主要处理半导体制造过程中的废气。消减装置通常由多个输入口组成，传输到一个共同的处理系统中。

什么是消减和次洁系统的具体设备行规ETG.5003.2000？

ETG.5003.2000是用于消减和次洁系统的特定设备行规，描述了消减和次洁系统的半导体设备的网络可见组件。这些系统主要处理半导体制造过程中的废气。消减装置通常由多个输入口组成，传输到一个共同的处理系统中。次洁系统接口允许添加额外的半导体设备，如粗化泵(ETG.5003.2050)或涡轮泵(ETG.5003.2070)。

如何实现此SDP并构建具有此一致性的设备？

您需要首先找到一个EtherCAT从控制器和EtherCAT从软件堆栈来实现一般的EtherCAT通信。然后您可以开始构建CDP和SDP。此SDP的实现必须与CDP一起完成，因为大部分SDP都基于CDP规范。大多数SDP都与软件需求有关，特别是设备对象字典和PDO映射。实现此SDP需要详细了解SDP规范和设备应用程序。